气体管路是实验室气体管道工程的主体部分之一,在铺设施工时要严格遵循相关技术要求及标准,才能保证使用过程中的安全稳定。下面四川企惠就来为大家详细介绍下,在实验室气体管道工程施工中,管路铺设的技术要求。 实验室集中供气的管道都要使用高质量、完全退火型、无缝连接的不锈钢管(BA级),某些对气体纯度要求不高的地方,如通风柜,可以使用铜管。 气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。 易燃易爆气体,如乙...
2023-08
管道的安装连接是实验室气体管道工程的关键施工部分,连接方法的正确与否关系到整个工程的质量。目前气体管道的连接方法主要有螺纹连接、法兰连接和焊接连接,每种连接方法都有其适用的场景,是由输送气体的性质、压力、温度以及管道材质、尺寸、安装场所等因素决定,下面普莱斯特就来为大家详细介绍实验室气体管道的三种连接方法。 一、螺纹连接 螺纹连接主要适用于小直径的管道,连接时,要在螺纹连接部分缠上氟塑料密...
2023-08
一般工艺气体都是储存在钢瓶中,钢瓶作为气源相对方便使用。过去无论是在半导体生产车间,抑或是科研单位的实验室,钢瓶总是出现在需要的地方,而没有一个统一的规划布置。随着半导体行业的蓬勃发展,对其配套项目也提出了更高要求。比如在集中供气系统中一般要有专用装置储存钢瓶,在过去十多年中,盖斯帕克没有发明集中供气之前,特种气体供应没有形成有效的系统,钢瓶凌乱,管理混乱,不相容气体混放等问题比较严重,极大的...
2023-07
特种供气系统报警系统泄漏的应急处理及从业人员安全注意事项 专用气瓶装入专用气柜,经专用气柜降压过滤后,送入车间VMB/VMP(有毒气体用VMB,无毒气体用VMP)。特殊气体进入VMB/VMP后,根据设备所需压力再次降压,达到设备所需压力。最后,降压后的特种气体被分成若干支路,送入相应的设备。 特种供气系统报警系统泄漏的应急处理及从业人员安全注意事项特殊气体报警系统对于有毒气体,本设备配有专门...
2023-07
实验室气路系统的验收过程。这是非常重要的一步,需要确保实验室气路系统的质量和安全性。 首先,我们需要审查实验室气路系统的设计文件,确保其符合国家相关标准和规范。然后,我们还需要检查实验室气路系统的安装质量,包括管道连接是否牢固、调节器和流量计的精度是否符合要求等。 接下来,对实验室气路系统中的气体进行纯度检测,确保其符合实验的要求。同时,对实验室气路系统中的气体压力进行稳定性检测,确保其稳...
2023-07
实验室气体管路系统是实验室中必不可少的设备之一,它主要用于将气体从气源输送到实验器材内部,是实验研究中不可或缺的一个环节。本文将从多个角度对实验室气体管路系统进行概述。 一、组成结构 实验室气体管路系统主要由气源、气体输送管路、气体处理装置和实验器材等组成。气源包括压缩空气、气瓶、液氮或液氧等,气体输送管路分为主管道和分支管道,气体处理装置包括减压阀、过滤器、调压器和调流器等,实验器材则包...
2023-07
管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法,由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定,主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。 1、螺纹联接 主要适用于小直径管道。联接时,一般要在螺纹联接部分缠上氟塑料密封带,或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料,以防止泄漏。在1.6兆帕以上压力时,一般在管子端面加垫片密封。这种联接方法简单,可以拆卸重装,但须在管道的适...
2023-07
近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理作个简单的概述。 常见气体的种类 电子行业中常见气体的分类: 普通气体,也称大宗气体(Bulk gas):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等 特种气体(Specialty gas)主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL...
2023-07
电子特气管道系统配管及附件材质的选择 选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。 注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS...
2023-06
电子特气管道系统的设计要点: 1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。 2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于...
2023-06